高純度タンタルカーバイド製品のカスタマイズ

簡単な説明：

TaC コーティングは、SiC よりも優れた高温安定性を備えた新世代の耐高温材料で、耐食コーティング、耐酸化コーティング、耐摩耗コーティングとして、2000℃以上の環境で使用でき、航空宇宙分野で広く使用されています。高温ホットエンド部品、第3世代半導体単結晶成長などの分野。

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製品の詳細

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Semicera Semicera は、さまざまなコンポーネントやキャリア向けに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供しています。Semicera Semicera の最先端のコーティングプロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上します (グラファイトコーティングされたTaCサセプター）、主要な原子炉コンポーネントの寿命を延ばします。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させるためであり、セミセラセミセラは、炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。

長年の開発を経て、セミセラは次の技術を克服しました。CVD TaC研究開発部門の協力により実現しました。SiCウェーハは成長過程で欠陥が発生しやすいですが、使用後はTaC、その違いは顕著です。以下は、TaC を含むウェーハと含まないウェーハ、および単結晶成長用 Simicera の部品の比較です。