高純度多孔質タンタルカーバイドコーティングバレル

簡単な説明:

Semicera の高純度多孔質炭化タンタルコーティングバレルは、炭化ケイ素 (SiC) 結晶成長炉用に特別に設計されています。高純度タンタルカーバイドコーティングと多孔質構造を特徴とするこのバレルは、優れた熱安定性と耐化学腐食性を備えています。 Semicera の高度なコーティング技術は、SiC 結晶成長プロセスにおける長期にわたる性能と効率を保証し、要求の厳しい半導体アプリケーションにとって理想的な選択肢となります。

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製品詳細

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多孔質タンタルカーバイドコーティングバレルは主なコーティング材料として炭化タンタルを使用しており、炭化タンタルは優れた耐食性、耐摩耗性、高温安定性を備えています。化学的侵食や高温雰囲気から基材を効果的に保護できます。基材は通常、高温耐性と耐食性の特性を備えています。優れた機械的強度と化学的安定性を提供すると同時に、炭化タンタルコーティング.

Semicera は、さまざまなコンポーネントやキャリア向けに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供しています。Semicera の最先端のコーティングプロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上します (グラファイトコーティングされたTaCサセプター）、主要な原子炉コンポーネントの寿命を延ばします。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させるためにあり、セミセラは炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。

長年の開発を経て、セミセラは次の技術を克服しました。CVD TaC研究開発部門の協力により実現しました。 SiCウェーハは成長過程で欠陥が発生しやすいですが、使用後はTaC、その違いは顕著です。以下は、TaC を含むウェーハと含まないウェーハ、および単結晶成長用 Simicera の部品の比較です。