Semicera は、さまざまなコンポーネントやキャリア向けに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供しています。Semicera Semicera の最先端のコーティング プロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上します (グラファイトコーティングされたTaCサセプター）、主要な原子炉コンポーネントの寿命を延ばします。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させるためにあり、セミセラは炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。
TaCありとなし
TaC使用後（右）
さらに、セミセラの TaC コーティング製品の耐用年数は、SiC コーティングよりも長く、高温に対する耐性が優れています。長期間にわたる実験室測定データの後、当社の TaC は最大摂氏 2300 度で長時間動作することができます。以下はサンプルの一部です。
(a) PVT法によるSiC単結晶インゴット育成装置の概略図 (b) 上部TaCコーティングシードブラケット(SiCシードを含む) (c) TACコーティンググラファイトガイドリング
