高純度タンタルカーボンコーティングリング

簡単な説明:

Semicera の高純度タンタル カーボン コーティング リングは、最大 2300°C の温度に耐え、エピタキシー装置に不可欠です。その卓越した熱安定性と高純度により、要求の厳しい半導体製造プロセスにおいて信頼性の高いパフォーマンスが保証されます。セミセラの高度なコーティング技術は、高温環境における優れた耐久性と効率を保証します。


製品詳細

製品タグ

Semicera は、さまざまなコンポーネントやキャリア向けに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供しています。Semicera の最先端のコーティング プロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上します (グラファイトコーティングされたTaCサセプター)、主要な原子炉コンポーネントの寿命を延ばします。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させるためにあり、セミセラは炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。

 

高純度タンタルカーボンコーティングリングは、航空宇宙、化学、半導体製造などの分野の特殊装置やシステムで広く使用されています。通常、高温や腐食環境でのシールや伝達に使用され、信頼性の高い性能と長寿命を実現し、機器の安定した動作と製品の品質を保証します。

高純度タンタルカーボンコーティングリングの特徴は以下の通りです。

1. 高温安定性:高純度タンタルカーボンコーティングリングは、高温環境下でも構造安定性を維持でき、優れた耐高温性を備えているため、高温条件に耐える必要がある用途に適しています。
2. 耐食性:タンタル材料自体は耐食性に優れており、表面に形成された炭化タンタル皮膜により耐食性がさらに向上し、さまざまな薬品や溶剤に対する侵食に耐えることができます。
3.耐摩耗性:炭化タンタルコーティングは高い硬度と耐摩耗性を備えており、摩擦や摩耗環境下で良好な性能を維持し、耐用年数を延長できます。
4. 優れたシール性能: 高純度タンタルカーボンコーティングリングは優れたシール性能を備え、ガスや液体の漏れを効果的に防止でき、高いシール要件が求められる用途シナリオに適しています。

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TaCありとなし

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TaC使用後(右)

また、セミセラのTaCコーティング製品に比べて、より長い耐用年数とより優れた高温耐性を示します。SiCコーティング.実験室での測定により、当社のTaCコーティング摂氏 2300 度までの温度で長期間安定して動作できます。以下にサンプルの例をいくつか示します。

 
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