高品質のカスタム炭化ケイ素カンチレバーパドル

高品質なカスタムを提案するセミセラ炭化ケイ素カンチレバーパドル半導体製造プロセスを向上させるために作られています。革新的なSiCパドル優れた耐久性と高い耐熱性を保証する設計で、厳しい高温環境でのウェーハ取り扱いに不可欠なコンポーネントとなっています。

の炭化ケイ素パドル構造の完全性を維持しながら極端な熱サイクルに耐えるように構築されており、半導体製造の重要な段階で信頼性の高いウェーハ輸送を保証します。機械的強度に優れており、ウエハーボートウェーハへの損傷のリスクを最小限に抑え、歩留まりの向上と一貫した生産品質につながります。

Semicera の SiC パドルの重要な革新の 1 つは、カスタム設計オプションにあります。特定の生産ニーズを満たすように調整されたパドルは、さまざまな装置セットアップとの統合に柔軟性をもたらし、最新の製造プロセスにとって理想的なソリューションとなります。軽量でありながら堅牢な構造により、取り扱いが容易で、稼働停止時間を短縮し、半導体生産の効率向上に貢献します。

熱的および機械的特性に加えて、炭化ケイ素パドル優れた耐薬品性を備え、過酷な化学環境下でも確実に性能を発揮します。このため、高品質の出力を確保するにはウエハボートの完全性を維持することが重要である、エッチング、堆積、および高温処理を伴うプロセスでの使用に特に適しています。