LEDエッチング 炭化ケイ素ベアリングトレイ、ICPトレイ(エッチング)

簡単な説明:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. は、ウェーハおよび最先端の半導体消耗品を専門とする大手サプライヤーです。当社は、半導体製造に高品質で信頼性の高い革新的な製品を提供することに専念しています。太陽光発電産業およびその他の関連分野。

当社の製品ラインには、炭化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウムなどのさまざまな材料を含む、SiC/TaCコーティングされたグラファイト製品やセラミック製品が含まれます。

信頼できるサプライヤーとして、当社は製造プロセスにおける消耗品の重要性を理解しており、お客様のニーズを満たすために最高の品質基準を満たす製品を提供することに尽力しています。

 

製品詳細

製品タグ

製品説明

当社は、グラファイトやセラミックスなどの材料表面に、炭素とシリコンを含む特殊ガスを高温で反応させ、高純度のSiC分子を得ることで、コーティング材料の表面に分子を堆積させ、CVD法によるSiCコーティング処理サービスを提供しています。 SIC保護層を形成します。

主な特徴:

1. 高温酸化耐性:

1600℃もの高温でも耐酸化性は非常に良好です。

2. 高純度 : 高温塩素化条件下での化学蒸着によって製造されます。

3.耐浸食性:高硬度、緻密な表面、微細な粒子。

4. 耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。

CVD-SICコーティングの主な仕様

SiC-CVDの特性

結晶構造

FCC βフェーズ

密度

g/cm3

3.21

硬度

ビッカース硬さ

2500

粒度

μm

2~10

化学純度

%

99.99995

熱容量

J・kg-1・K-1

640

昇華温度

2700

感覚の強さ

MPa(室温4点)

415

ヤング率

Gpa (4pt曲げ、1300℃)

430

熱膨張 (CTE)

10-6K-1

4.5

熱伝導率

(W/mK)

300


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