4インチグラファイトベースMOCVD装置部品 36個

簡単な説明:

製品紹介と用途:青緑色エピタキシャル膜を用いたLEDの成長に使用される4時間基板を36枚配置

製品のデバイスの位置: 反応チャンバー内、ウェーハと直接接触

主な下流製品:LEDチップ

メインエンド市場: LED


製品の詳細

製品タグ

説明

当社が提供するのは、SiCコーティンググラファイト、セラミックス、その他の材料の表面にCVD法によるプロセスサービスを提供し、炭素とシリコンを含む特殊なガスを高温で反応させ、高純度のSiC分子、コーティングされた材料の表面に堆積した分子、SIC保護層.

 

グラファイトベース--36

主な特徴

1. 高温酸化耐性:
1600℃もの高温でも耐酸化性は非常に良好です。
2. 高純度: 高温塩素化条件下での化学蒸着によって製造されます。
3.耐浸食性:高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
4. 耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。

CVD-SICコーティングの主な仕様

SiC-CVDの特性
結晶構造 FCC βフェーズ
密度 g/cm3 3.21
硬度 ビッカース硬さ 2500
粒度 μm 2~10
化学純度 % 99.99995
熱容量 J・kg-1・K-1 640
昇華温度 2700
感覚の強さ MPa(室温4点) 415
ヤング率 Gpa (4pt曲げ、1300℃) 430
熱膨張 (CTE) 10-6K-1 4.5
熱伝導率 (W/mK) 300

会社概要

Semicera Energy は、中国における炭化ケイ素コーティングされたエピタキシャル シート パレットの製造業者および供給業者の 1 つです。当社の主な製品には、炭化ケイ素エッチング プレート、炭化ケイ素ボート トレーラー、炭化ケイ素ウェハ ボート (PV および半導体)、炭化ケイ素炉チューブ、炭化ケイ素カンチレバー パドル、炭化ケイ素チャック、炭化ケイ素ビーム、CVD SiC コーティング、およびTaCコーティング。

製品は主に、結晶成長、エピタキシー、エッチング、パッケージング、コーティング、拡散炉装置などの半導体および太陽光発電産業で使用されています。SIC コーティングされたエピタキシャル シート パレットを当社の工場から低価格で購入してください。自社ブランドもあり、バルクにも対応しております。当社の製品にご興味がございましたら、格安価格でご提供させていただきます。当社の最新の高品質の割引製品へようこそ。

当社は、成形、焼結、加工、コーティング設備などの完全な生産設備を備えており、製品生産に必要なすべてのリンクを完了でき、製品の品質のより高い制御性を備えています。製品のニーズに応じて最適な生産計画を選択できるため、コストを削減し、より競争力のある製品をお客様に提供できます。当社は、注文の配送要件に基づいて、オンライン注文管理システムと連携して、柔軟かつ効率的に生産スケジュールを設定することができ、より迅速で保証された納期をお客様に提供します。
(2)について

 

装置

について


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