長い耐用年数の太陽ウェーハのための SiC によってコーティングされたグラファイト キャリア

簡単な説明:

炭化ケイ素はコストパフォーマンスが高く、優れた材料特性を備えた新しいタイプのセラミックスです。炭化ケイ素は、高い強度と硬度、高温耐性、優れた熱伝導率、耐化学腐食性などの特徴により、ほぼすべての化学媒体に耐えることができます。したがって、SiC は石油採掘、化学、機械、空域で広く使用されており、原子力エネルギーや軍事でも SIC に対する特別な需要があります。当社が提供できる通常の用途としては、ポンプ、バルブ、防護服などのシールリングがあります。


製品詳細

製品タグ

利点

高温耐酸化性
優れた耐食性
優れた耐摩耗性
高い熱伝導率
自己潤滑性、低密度
高硬度
カスタマイズされたデザイン。

HGF(2)
HGF(1)

アプリケーション

-耐摩耗分野: ブッシング、プレート、サンドブラストノズル、サイクロンライニング、研削バレルなど...
-高温分野:SiCスラブ、焼入れ炉管、ラジアントチューブ、るつぼ、発熱体、ローラー、ビーム、熱交換器、冷気パイプ、バーナーノズル、熱電対保護管、SiCボート、キルンカー構造物、セッターなど。
-炭化ケイ素半導体:SiCウェーハボート、SICチャック、SICパドル、SICカセット、SIC拡散管、ウェーハフォーク、吸着プレート、ガイドウェイなど。
-炭化ケイ素シール分野:あらゆる種類のシールリング、ベアリング、ブッシュなど。
-太陽光発電分野:カンチレバーパドル、研削バレル、炭化ケイ素ローラーなど。
-リチウム電池分野

ウエハース (1)

ウエハース (2)

SiCの物性

財産 価値 方法
密度 3.21g/cc 浮き浮きと寸法
比熱 0.66J/g°K パルスレーザーフラッシュ
曲げ強度 450MPa560MPa 4点曲げ、RT4点曲げ、1300°
破壊靱性 2.94MPa・m1/2 マイクロインデント
硬度 2800 ビッカーズ、500g荷重
弾性率ヤング率 450GPa430GPa 4 ポイントベンド、RT4 ポイントベンド、1300 °C
粒度 2~10μm SEM

SiCの熱的性質

熱伝導率 250W/m°K レーザーフラッシュ方式、RT
熱膨張 (CTE) 4.5×10-6°K 室温~950 °C、シリカ膨張計

技術的パラメータ

アイテム ユニット データ
RBSiC(SiSiC) NBSiC SSiC RSiC OSiC
SiC含有量 % 85 75 99 99.9 ≥99
無料のシリコン含有量 % 15 0 0 0 0
最高使用温度 1380 1450 1650 1620年 1400
密度 グラム/センチメートル3 3.02 2.75~2.85 3.08~3.16 2.65-2.75 2.75~2.85
開気孔率 % 0 13-15 0 15-18 7-8
曲げ強度20℃ Мpa 250 160 380 100 /
曲げ強度1200℃ Мpa 280 180 400 120 /
弾性率20℃ GPA 330 580 420 240 /
弾性率1200℃ GPA 300 / / 200 /
熱伝導率1200℃ W/mK 45 19.6 100-120 36.6 /
熱膨張係数 K-1X10-6 4.5 4.7 4.1 4.69 /
HV キログラム/メートルm2 2115 / 2800 / /

再結晶炭化ケイ素セラミック製品の外表面の CVD 炭化ケイ素コーティングは、99.9999% 以上の純度に達し、半導体業界の顧客のニーズを満たすことができます。

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