急速に進歩する半導体製造分野では、高い歩留まりと品質を達成するには、装置の精度と耐久性が最も重要です。これを確実にする重要なコンポーネントの 1 つは、SiC コーティング ホイール ギアで、次のようなプロセスの効率を向上させるように設計されています。SiエピタキシーそしてSiCエピタキシー。 Semicera では、現代の半導体製造の厳しいニーズを満たす、優れた耐摩耗性と熱安定性を備えた高度な SiC コーティング ホイール ギアの開発を専門としています。
SiC コーティングホイールギアは、エピタキシャル成長に使用される装置において重要な役割を果たし、スムーズな動きと基板の正確な制御を保証します。これらの歯車は、炭化ケイ素コーティング、耐久性と耐食性が強化されており、高温や攻撃的な化学物質が含まれる環境に最適です。これは、MOCVDサセプタ、材料の堆積には安定した信頼性の高いサポートが必要です。
それらの機能に加えて、SiエピタキシーそしてSiCエピタキシー, Semicera の SiC コーティングホイールギアは、他の半導体用途にも不可欠です。たとえば、次のようなシステムに統合されています。PSSエッチングキャリア、均一で高品質の LED ウエハーを生産するために不可欠です。精度が高く強度も高いので、ICPエッチングキャリアイオンエッチングプロセスでは、厳密な公差の必要性が極めて重要です。さらに、急速な熱転移に耐える能力により、半導体アニーリングに使用される RTP キャリアにおいて非常に効果的です。
SiC コーティング ホイール ギアのもう 1 つの重要な用途は、LED エピタキシャル サセプタの製造であり、その耐久性と耐熱性は、高温動作中にサセプタの完全性を維持するのに役立ちます。これにより、LED ウェーハの生産におけるスループットと信頼性が向上します。
Semicera の高度な SiC コーティング ホイール ギアを組み込むことで、メーカーは半導体製造プロセスのパフォーマンスの向上、ダウンタイムの削減、効率の向上を実現できます。 Si エピタキシー、SiC エピタキシー、または MOCVD サセプターの取り扱いのいずれにおいても、これらのギアは、半導体産業の高い要求を満たすために必要な弾力性と精度を提供します。
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投稿日時: 2024 年 9 月 24 日