アルミナセラミックマニピュレータの精密加工の難しさは何ですか？

アルミナセラミックマニピュレータは半導体産業で重要な役割を果たしており、主に高清浄環境でウェーハを搬送するために使用されます。アルミナセラミックスは優れた性能を有しており、ロボットの作製に非常に適していますが、アルミナセラミックスは非常に硬度が高いだけでなく、加工が非常に難しいセラミックスでもあります。 Semicera Energy Technology Co., Ltd. は、ウェーハおよび先端半導体消耗品を専門とする大手サプライヤーです。その中でも、アルミナ セラミックスは、Semicera Energy の重要な製品の 1 つです。当社は長年この分野に取り組み、アルミナセラミックスの加工の難しさを補う新たな加工技術を独自に開発してきました。認定されたセラミックメカニカルアーム製品を顧客に提供することができました。アルミナセラミックマニピュレータの精密加工の難しさについて、セミセラエナジーのエンジニアが紹介します。

アルミナセラミック製ロボットアーム

1. アルミナセラミックスは硬度が高いため、一般的な工具の硬度はアルミナセラミックスよりもはるかに低くなります。この時点では、より硬度の高いダイヤモンド工具を選択しますが、それでも工具の摩耗が促進され、ツールのコストが増加します。そのため、アルミナセラミックスの精密加工は比較的コストが高くなります。

2. アルミナセラミックス良好な熱安定性を有するが、耐衝撃性が悪く、脆性が大きく、アルミナセラミックの加工過程でエッジ崩壊現象が発生しやすい。加工業界ではさまざまな最適化を行う必要がありますが、加工技術だけではアルミナセラミックマニピュレータの製品認定率を大幅に向上させることはできません。

3. アルミナセラミックスセラミックスワーク自体は研削加工精度の要求が高いため、表面加工では工具の摩耗により寸法精度や表面粗さの低下につながり、表面仕上げの要求が高いセラミックスワークの場合はさらに研磨加工が必要となり、加工コストも増加します。

4. アルミナセラミック研削加工では、硬質のファインセラミック粉末が大量に生成されやすく、粉末が工作機械の主軸やその他の付属品に侵入しやすく、工作機械の生産不良や工作機械への重大な損傷を引き起こします。この問題を解決するために、セミセラエナジーでは特殊なセラミック彫刻・フライス盤を特別に導入し、この問題を根本的に解決し、ワークの加工精度も大幅に向上しました。 Semicera Energy は、アルミナセラミックマニピュレーターの精密加工において明らかな利点を持っており、専門の技術者チームを擁しているだけでなく、特殊な加工装置一式も備えています。