アルミナセラミックマニピュレータの精密加工の難しさは何ですか？

アルミナセラミックマニピュレータは、主に高清浄環境でウェーハを搬送するために使用され、半導体産業で重要な役割を果たしています。アルミナセラミックスは優れた性能を有しており、ロボットの作製に非常に適していますが、アルミナセラミックスは非常に硬度が高いだけでなく、加工が非常に難しいセラミックス材料でもあります。WeiTai Energy Technology Co., Ltd. はウェーハおよび先端半導体消耗品を専門とする大手サプライヤーです。その中でもアルミナセラミックスは WeiTai Energy の重要な製品の 1 つです。当社は長年この分野に取り組み、アルミナセラミックスの加工の難しさを補う新たな加工技術を特別に開発しました。認定されたセラミックメカニカルアーム製品を顧客に提供することができました。以下のWeiTai Energyのエンジニアが、アルミナセラミックマニピュレータの精密加工の難しさを紹介します。

アルミナセラミック製ロボットアーム

1. アルミナセラミックスは硬度が高いため、一般的な工具の硬度はアルミナセラミックスよりもはるかに低くなります。この時点では、より硬度の高いダイヤモンド工具を選択しますが、それでも工具の摩耗が促進され、ツールのコストが増加します。そのため、アルミナセラミックスの精密加工は比較的コストが高くなります。

2.アルミナセラミックは熱安定性に優れていますが、耐衝撃性が低く、脆性が大きく、アルミナセラミックの加工過程でエッジ崩壊現象が発生しやすいです。加工業界ではさまざまな最適化を行う必要がありますが、加工技術だけではアルミナセラミックマニピュレータの製品認定率を大幅に向上させることはできません。

3. アルミナセラミックス自体は研削加工精度の要求が高いため、表面加工では工具の摩耗により寸法精度や表面仕上げの低下が生じます。セラミックワークの表面仕上げの要求が高い場合は、さらに研磨加工が必要となり、加工精度も向上します。処理にかかる費用。

4.アルミナセラミック研削加工は、硬質のファインセラミック粉末を大量に生成しやすく、粉末が工作機械のスピンドルやその他の付属品に侵入しやすく、工作機械の生産不良、工作機械への重大な損傷を引き起こします。この問題を解決するために、WeiTai Energy は特殊なセラミック彫刻およびフライス盤を特別に導入しました。これにより、この問題が根本的に解決され、ワー​​クピースの加工精度も大幅に向上しました。WeiTai Energy は、アルミナ セラミック マニピュレーターの精密加工において明らかな利点を持っており、専門の技術者チームを擁しているだけでなく、特殊な加工設備一式も備えています。