当社の半導体石英洗浄タンクは、産業用途に高品質のソリューションを提供します。高品質の石英材料で作られたこれらの製品は、拡散、酸化、堆積 (CVD) などのさまざまな半導体プロセスに適しています。縦型と横型の両方の構成があり、お客様のニーズに合わせてさまざまなサイズと仕様を提供しています。生産ラインでの優れた性能と信頼性を実現するには、当社の半導体石英洗浄タンクをお選びください。
大型のシングルからダブルまで、ご要望に合わせた様々な形状に対応いたします。石英お風呂は小さいものまで石英るつぼ。に加えて石英材料、硬質ガラス製の容器の加工も可能です。
●ウエハのウェット洗浄工程に使用します。
・シングルスロット/ダブルスロット(オーバーフロースロット)。
●12インチまで製作可能です。
