半導体SiCコーティング単結晶シリコンエピタキシャルディスク

Semicera の Semiconductor SiC コーティングされた単結晶シリコン エピタキシャル ディスクは、高度なエピタキシャル成長プロセス向けに設計された最先端のソリューションです。セミセラは、優れた熱伝導性と耐久性を備えた高性能ディスクの製造を専門とし、次の用途に最適です。SiエピタキシーそしてSiCエピタキシー。炭化ケイ素 (SiC) でコーティングされたこのエピタキシャル ディスクは、半導体製造プロセスの効率と精度を向上させます。

私たちのMOCVDサセプタ互換性のあるエピタキシャル ディスクは、PSS エッチング キャリアを必要とするシステムを含む、さまざまなセットアップで一貫したパフォーマンスを保証します。ICPエッチングキャリア、および RTP キャリア。このディスクは、単結晶シリコン製造の高い要求を満たすように設計されており、LED エピタキシャル サセプタ アプリケーションやその他の半導体成長プロセスに適しています。バレル サセプタおよびパンケーキ サセプタの設計は製造業者に多用途性を提供し、光起電力部品の使用によりその用途が太陽光産業に拡張されます。

このディスクの堅牢な構造により、GaN on SiC エピタキシャル機能により、高度なエピタキシャル システムの価値がさらに高まります。このソリューションは、信頼性の高い高品質の結果を提供するように設計されており、現代の半導体および太陽光発電の製造に不可欠なコンポーネントとなっています。