SiCカンチレバーパドル 炭化ケイ素拡散パドル

セミセラさんSiCパドル熱膨張を最小限に抑えるように設計されており、寸法精度が重要なプロセスにおいて安定性と精度を提供します。このため、次のような用途に最適です。ウエハースウェーハボートはその構造的完全性を維持し、一貫した性能を保証するため、加熱と冷却の繰り返しサイクルにさらされます。

セミセラの導入炭化ケイ素拡散パドル生産ラインに導入すると、その優れた熱的特性と化学的特性により、プロセスの信頼性が向上します。これらのパドルは拡散、酸化、アニーリングのプロセスに最適であり、各ステップを通じてウェーハが注意深く正確に扱われることを保証します。

イノベーションはセミセラの中核ですSiCパドルデザイン。これらのパドルは、既存の半導体装置にシームレスにフィットするように調整されており、取り扱い効率が向上します。軽量構造と人間工学に基づいた設計により、ウェーハの搬送が改善されるだけでなく、運用のダウンタイムも削減され、生産が合理化されます。