高度な炭化タンタルコーティングを施したSiC結晶成長管

簡単な説明:

このコーティングは高純度、耐高温性、耐薬品性を備えており、グラファイト表面を摩耗、腐食、酸化から効果的に保護します。炭化タンタルコーティングは、材料の表面に耐摩耗性、耐腐食性の保護層を形成することにより、優れた性能向上を実現する高性能表面コーティング技術です。

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製品詳細

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Semicera Semicera は、さまざまなコンポーネントやキャリア向けに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供しています。Semicera Semicera の最先端のコーティングプロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上します (グラファイトコーティングされたTaCサセプター）、主要な原子炉コンポーネントの寿命を延ばします。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させるためであり、セミセラセミセラは、炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。

長年の開発を経て、セミセラは次の技術を克服しました。CVD TaC研究開発部門の協力により実現しました。 SiCウェーハは成長過程で欠陥が発生しやすいですが、使用後はTaC、その違いは顕著です。以下は、TaC を含むウェーハと含まないウェーハ、および単結晶成長用 Simicera の部品の比較です。