炭化ケイ素カンチレバーパドル

簡単な説明:

炭化ケイ素パドル、炭化ケイ素カンチレバー パドルとも呼ばれ、炭化ケイ素カンチレバー ビームは、1850 年以降の炭化ケイ素セラミック製品の一種です。高温焼結ですが、高温焼結炭化ケイ素セラミックは微粒子による特殊なセラミック製品です。α-SiC と添加剤をブランクにプレスし、高温で液体シリコンと接触させると、ブランク内の炭素と Si の浸透が反応して、β-SiC、そして、α-SiCと組み合わせると、遊離シリコンが気孔を満たし、高密度のセラミック材料が得られます。工業用セラミックスのさまざまな優れた特性を備えています。

 


製品詳細

製品タグ

SiCカンチレバーパドルは、太陽光発電産業の拡散コーティング炉で単結晶および多結晶シリコン ウェーハをコーティングするために使用されています。その特性により、高温や腐食に耐えることができ、長寿命を実現します。
SiCカンチレバーパドルシリコンウェーハを高温拡散コーティング炉管内に搬送するSiCボート/石英ボートを納品します。
私たちの長さは、SiCカンチレバーパドル1,500~3,500mmの範囲です。SiCカンチレバーパドル寸法は顧客の仕様に応じてカスタマイズできます。

再結晶炭化ケイ素の物性

財産

代表値

使用温度(℃)

1600℃(酸素あり)、1700℃(還元雰囲気)

SiC含有量

> 99.96%

無料のSiコンテンツ

< 0.1%

かさ密度

2.60~2.70g/cm3

見かけの気孔率

< 16%

圧縮強度

> 600MPa

冷間曲げ強度

80~90MPa(20℃)

熱間曲げ強度

90~100MPa(1400℃)

熱膨張 @1500°C

4.70 10-6/℃

熱伝導率 @1200°C

23W/m・K

弾性率

240GPa

耐熱衝撃性

非常に良い

炭化ケイ素カンチレバーパドル-2
炭化ケイ素カンチレバーパドルの注目の画像
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