SiCカンチレバーパドルは、太陽光発電産業の拡散コーティング炉で単結晶および多結晶シリコン ウェーハをコーティングするために使用されています。その特性により、高温や腐食に耐えることができ、長寿命を実現します。
のSiCカンチレバーパドルシリコンウェーハを高温拡散コーティング炉管内に搬送するSiCボート/石英ボートを納品します。
私たちの長さは、SiCカンチレバーパドル1,500~3,500mmの範囲です。SiCカンチレバーパドル寸法は顧客の仕様に応じてカスタマイズできます。
|   再結晶炭化ケイ素の物性  |  |
|   財産  |    代表値  |  
|   使用温度(℃)  |    1600℃(酸素あり)、1700℃(還元雰囲気)  |  
|   SiC含有量  |    > 99.96%  |  
|   無料のSiコンテンツ  |    < 0.1%  |  
|   かさ密度  |    2.60~2.70g/cm3  |  
|   見かけの気孔率  |    < 16%  |  
|   圧縮強度  |    > 600MPa  |  
|   冷間曲げ強度  |    80~90MPa(20℃)  |  
|   熱間曲げ強度  |    90~100MPa(1400℃)  |  
|   熱膨張 @1500°C  |    4.70 10-6/℃  |  
|   熱伝導率@1200°C  |    23W/m・K  |  
|   弾性率  |    240GPa  |  
|   耐熱衝撃性  |    非常に良い  |  
 		     			
 		     			
 		     			
 		     			
 		     			
 		     			
 		     			
             




