SiCカンチレバーパドルは、太陽光発電産業の拡散コーティング炉で単結晶および多結晶シリコン ウェーハをコーティングするために使用されています。その特性により、高温や腐食に耐えることができ、長寿命を実現します。
のSiCカンチレバーパドルシリコンウェーハを高温拡散コーティング炉管内に搬送するSiCボート/石英ボートを納品します。
私たちの長さは、SiCカンチレバーパドル1,500~3,500mmの範囲です。SiCカンチレバーパドル寸法は顧客の仕様に応じてカスタマイズできます。
再結晶炭化ケイ素の物性 | |
財産 | 代表値 |
使用温度(℃) | 1600℃(酸素あり)、1700℃(還元雰囲気) |
SiC含有量 | > 99.96% |
無料のSiコンテンツ | < 0.1% |
かさ密度 | 2.60~2.70g/cm3 |
見かけの気孔率 | < 16% |
圧縮強度 | > 600MPa |
冷間曲げ強度 | 80~90MPa(20℃) |
熱間曲げ強度 | 90~100MPa(1400℃) |
熱膨張 @1500°C | 4.70 10-6/℃ |
熱伝導率 @1200°C | 23W/m・K |
弾性率 | 240GPa |
耐熱衝撃性 | 非常に良い |