説明
SiCシャワーヘッドの特徴は以下の通りです。
1.耐食性:SiC材料は耐食性に優れ、各種薬液や溶液の浸食に耐えることができ、各種化学処理や表面処理プロセスに適しています。
2. 高温安定性:SiCノズル高温環境下でも構造安定性を維持できるため、高温処理が必要な用途に適しています。
3.均一なスプレー:SiCノズル優れた噴霧制御性能を備えた設計により、均一な液分布を実現し、処理液がターゲット表面に均一に塗布されるようにします。
4.高い耐摩耗性:SiC素材は硬度と耐摩耗性が高く、長期間の使用や摩擦に耐えることができます。
SiCシャワーヘッドは、半導体製造、化学処理、表面コーティング、電気めっきなどの産業分野における液処理プロセスで広く使用されています。安定した均一かつ信頼性の高いスプレー効果を提供し、加工と処理の品質と一貫性を確保します。
主な特長
1. 高温酸化耐性:
1600℃もの高温でも耐酸化性は非常に良好です。
2. 高純度: 高温塩素化条件下での化学蒸着によって製造されます。
3.耐浸食性:高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
4. 耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。
CVD-SICコーティングの主な仕様
SiC-CVDの特性 | ||
結晶構造 | FCC βフェーズ | |
密度 | g/cm3 | 3.21 |
硬度 | ビッカース硬さ | 2500 |
粒度 | μm | 2~10 |
化学純度 | % | 99.99995 |
熱容量 | J・kg-1・K-1 | 640 |
昇華温度 | ℃ | 2700 |
感覚の強さ | MPa(室温4点) | 415 |
ヤング率 | Gpa (4pt曲げ、1300℃) | 430 |
熱膨張 (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
熱伝導率 | (W/mK) | 300 |