炭化ケイ素SiCシャワーヘッド

簡単な説明:

Semicera は、一流の R&D チームを擁し、研究開発と製造を統合した、長年にわたり材料研究に取り組んでいるハイテク企業です。カスタマイズされたものを提供する炭化ケイ素SiCシャワーヘッド お客様の製品の最高のパフォーマンスと市場での優位性を得る方法について当社の技術専門家と話し合ってください。

 

 

 


製品詳細

製品タグ

説明

当社が提供するのは、SiCコーティンググラファイト、セラミックス、その他の材料の表面にCVD法によるプロセスサービスを提供し、炭素とシリコンを含む特殊なガスを高温で反応させ、表面に堆積した高純度のSiC分子を取得します。コーティングされた材料、SIC保護層を形成します。

SiCシャワーヘッドの特徴は以下の通りです。

1.耐食性:SiC材料は耐食性に優れ、各種薬液や溶液の浸食に耐えることができ、各種化学処理や表面処理プロセスに適しています。

2. 高温安定性:SiCノズル高温環境下でも構造安定性を維持できるため、高温処理が必要な用途に適しています。

3.均一なスプレー:SiCノズル優れた噴霧制御性能を備えた設計により、均一な液分布を実現し、処理液がターゲット表面に均一に塗布されるようにします。

4.高い耐摩耗性:SiC素材は硬度と耐摩耗性が高く、長期間の使用や摩擦に耐えることができます。

SiCシャワーヘッドは、半導体製造、化学処理、表面コーティング、電気めっきなどの産業分野における液処理プロセスで広く使用されています。安定した均一かつ信頼性の高いスプレー効果を提供し、加工と処理の品質と一貫性を確保します。

(1)について

(2)について

主な特長

1. 高温酸化耐性:
1600℃もの高温でも耐酸化性は非常に良好です。
2. 高純度: 高温塩素化条件下での化学蒸着によって製造されます。
3.耐浸食性:高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
4. 耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。

CVD-SICコーティングの主な仕様

SiC-CVDの特性
結晶構造 FCC βフェーズ
密度 g/cm3 3.21
硬度 ビッカース硬さ 2500
粒度 μm 2~10
化学純度 % 99.99995
熱容量 J・kg-1・K-1 640
昇華温度 2700
感覚の強さ MPa(室温4点) 415
ヤング率 Gpa (4pt曲げ、1300℃) 430
熱膨張 (CTE) 10-6K-1 4.5
熱伝導率 (W/mK) 300
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