炭化ケイ素コーティングを施したグラファイトサセプター、バレルトレイ

簡単な説明:

Semicera は、さまざまなエピタキシー リアクター向けに設計された包括的なサセプターとグラファイト コンポーネントを提供しています。

業界をリードする OEM との戦略的パートナーシップ、広範な材料専門知識、高度な製造能力を通じて、セミセラはお客様のアプリケーションの特定の要件を満たすカスタマイズされた設計を提供します。当社の卓越性への取り組みにより、お客様はエピタキシーリアクターのニーズに最適なソリューションを確実にお届けします。

 

製品の詳細

製品タグ

説明

当社は、グラファイトやセラミックスなどの材料表面に、炭素とシリコンを含む特殊ガスを高温で反応させ、高純度のSiC分子を得ることで、コーティング材料の表面に分子を堆積させ、CVD法によるSiCコーティング処理サービスを提供しています。 SIC保護層を形成します。

(1)について

(2)について

主な特徴

1.高純度SiCコーティンググラファイト

2. 優れた耐熱性と均熱性

3. 微細なSiC結晶コーティングにより滑らかな表面を実現

4. 薬品洗浄に対する高い耐久性

CVD-SICコーティングの主な仕様

SiC-CVDの特性
結晶構造 FCC βフェーズ
密度 g/cm3 3.21
硬度 ビッカース硬さ 2500
粒度 μm 2~10
化学純度 % 99.99995
熱容量 J・kg-1・K-1 640
昇華温度 2700
感覚の強さ MPa(室温4点) 415
ヤング率 Gpa (4pt曲げ、1300℃) 430
熱膨張 (CTE) 10-6K-1 4.5
熱伝導率 (W/mK) 300
写真3
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セミセラ作業所
セミセラ作業場2
設備機械
CNN加工、薬液洗浄、CVDコーティング
当社のサービス

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