MOCVD用炭化ケイ素(SiC)ウェーハサセプタ

の炭化ケイ素 (SiC) ウェーハサセプタSemicera の MOCVD 用は、高度なエピタキシャル プロセス向けに設計されており、両方のプロセスで優れたパフォーマンスを提供します。SiエピタキシーそしてSiCエピタキシーアプリケーション。セミセラの革新的なアプローチにより、これらのサセプターの耐久性と効率性が確保され、重要な製造作業に安定性と精度が提供されます。

複雑なニーズをサポートするように設計されていますMOCVDサセプタこれらの製品は汎用性が高く、PSS エッチング キャリア、ICP エッチング キャリア、RTP キャリアなどのキャリアと互換性があります。その柔軟性により、産業を含むハイテク産業に適しています。LEDエピタキシャルサセプタと単結晶シリコン。

バレル サセプタやパンケーキ サセプタなどの複数の構成を備えたこれらのウェハ サセプタは、太陽光発電分野でも不可欠であり、太陽光発電部品の製造をサポートします。半導体メーカーにとって、これらのサセプタは、SiC エピタキシー プロセス上の GaN を処理できるため、幅広い用途で高品質の出力を保証する上で非常に価値があります。