セミセラが提供するソリッドシリコンカーバイド(SiC)エッチングリングは、化学蒸着(CVD)法によって製造されており、精密エッチングプロセスアプリケーションの分野で優れた実績を誇っています。これらの固体炭化ケイ素 (SiC) エッチング リングは、優れた硬度、熱安定性、耐食性で知られており、CVD 合成によって優れた材料品質が保証されています。
エッチングプロセス用に特別に設計されたソリッドシリコンカーバイド(SiC)エッチングリングの頑丈な構造と独特の材料特性は、精度と信頼性を達成する上で重要な役割を果たします。従来の素材とは異なり、固体 SiC コンポーネントは比類のない耐久性と耐摩耗性を備えており、精度と長寿命が要求される産業において不可欠なコンポーネントとなっています。
当社の固体炭化ケイ素 (SiC) エッチング リングは、優れた性能と信頼性を保証するために精密に製造され、品質管理されています。半導体製造やその他の関連分野において、これらの固体炭化ケイ素(SiC) エッチング リングは安定したエッチング性能と優れたエッチング結果を提供します。
当社のソリッドシリコンカーバイド(SiC)エッチングリングにご興味がございましたら、お問い合わせください。当社のチームは、お客様のニーズを満たすために、詳細な製品情報と専門的な技術サポートを提供します。私たちは、お客様と長期的なパートナーシップを確立し、業界の発展を共同で推進できることを楽しみにしています。
✓中国市場でトップクラスの品質
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✓短納期
✓少量のMOQを歓迎し受け入れます
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エピタキシー成長用サセプタ
シリコン/炭化ケイ素ウェーハを電子デバイスに使用するには、複数のプロセスを経る必要があります。重要なプロセスはシリコン/SIC エピタキシーです。このプロセスでは、シリコン/SIC ウェーハがグラファイト ベース上に運ばれます。 Semicera の炭化ケイ素でコーティングされたグラファイト ベースの特別な利点には、非常に高い純度、均一なコーティング、および非常に長い耐用年数が含まれます。また、高い耐薬品性と熱安定性も備えています。
LEDチップの製造
MOCVD リアクターの広範なコーティング中に、遊星ベースまたはキャリアが基板ウェーハを移動させます。母材の性能はコーティングの品質に大きな影響を与え、ひいてはチップのスクラップ率に影響を与えます。 Semicera の炭化ケイ素でコーティングされたベースは、高品質 LED ウェーハの製造効率を高め、波長の偏差を最小限に抑えます。また、現在使用されているすべての MOCVD リアクター用に追加のグラファイト コンポーネントも供給しています。ほぼすべてのコンポーネントを炭化ケイ素コーティングでコーティングできます。コンポーネントの直径が最大 1.5M であっても、炭化ケイ素でコーティングできます。
半導体分野、酸化拡散プロセス、など。
半導体プロセスでは、酸化膨張プロセスに高い製品純度が必要です。セミセラでは、大部分の炭化ケイ素部品に対してカスタムおよび CVD コーティング サービスを提供しています。
以下の写真は、粗加工されたSemiceaの炭化ケイ素スラリーと100分間洗浄された炭化ケイ素炉管を示しています。0-レベル埃のない部屋。当社の職人は塗装前の作業を行っております。当社の炭化ケイ素の純度は99.99%に達し、SICコーティングの純度は99.99995%以上です。.
洗浄中の生の炭化ケイ素パドルと SiC プロセス チューブ
炭化ケイ素ウェーハボート CVD SiC コーティング
