Semicera は、さまざまなコンポーネントやキャリア向けに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供しています。Semicera の最先端のコーティング プロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上します (グラファイトコーティングされたTaCサセプター）、主要な原子炉コンポーネントの寿命を延ばします。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させるためにあり、セミセラは炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。
炭化ケイ素 (SiC) は第 3 世代半導体の主要な材料ですが、その歩留まりが業界の成長を制限する要因となっていました。Semicera の研究所で広範なテストを行った結果、噴霧および焼結された TaC には必要な純度と均一性が欠けていることが判明しました。対照的に、CVD プロセスでは 5 PPM の純度レベルと優れた均一性が保証されます。CVD TaC の使用により、炭化ケイ素ウェーハの歩留まりが大幅に向上します。議論を歓迎しますTaC コーティングされたグラファイト 3 セグメント リング SiCウェハのコストをさらに削減します。
TaCありとなし
TaC使用後（右）
また、セミセラのTaCコーティング製品に比べて、より長い耐用年数とより優れた高温耐性を示します。SiCコーティング.実験室での測定により、当社のTaCコーティング摂氏 2300 度までの温度で長期間安定して動作できます。以下にサンプルの例をいくつか示します。
