TaCコーティンググラファイトガイドリング

簡単な説明:

Semicera Semiconductor の TaC コーティングされたグラファイト ガイド リングは、炭化ケイ素結晶成長用に設計されており、優れた耐摩耗性と熱安定性を提供します。信頼性が高く高性能なコンポーネントにはセミセラをお選びください。


製品詳細

製品タグ

TaCコーティングされたグラファイトガイドリングの薄い層の堆積を指します。炭化タンタルグラファイトガイドリングの表面にコーティングを施し、耐摩耗性、耐高温性、化学的安定性を向上させます。このコーティングは通常、物理蒸着 (PVD) や化学蒸着 (CVD) などの技術によってグラファイト ガイド リングの表面に形成されます。

 

Semicera は、さまざまなコンポーネントやキャリア向けに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供しています。Semicera の最先端のコーティング プロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上します (グラファイトコーティングされたTaCサセプター)、主要な原子炉コンポーネントの寿命を延ばします。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させるためにあり、セミセラは炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。

 

長年の開発を経て、セミセラは次の技術を克服しました。CVD TaC研究開発部門の協力により実現しました。 SiCウェーハは成長過程で欠陥が発生しやすいですが、使用後はTaC、その違いは顕著です。以下は、TaC を含むウェーハと含まないウェーハ、および単結晶成長用 Simicera の部品の比較です。

TaC コーティングされたグラファイト ガイド リングの主な特徴は次のとおりです。

1. 高温耐性:TaC コーティングは高温安定性に優れており、高温環境下でも安定性を維持できます。

2. 耐摩耗性: 炭化タンタル薄層の高硬度により、ガイド リングに優れた耐摩耗性が与えられ、耐用年数が長くなります。

3. 化学的安定性: TaC コーティングは化学的腐食に対して高い安定性を備えているため、一部の腐食性媒体での用途に適しています。

4. 摩擦の低減:TaC コーティングは、グラファイトガイドリングと他のコンポーネントの間の摩擦を効果的に低減し、メカニカルシールの効率を向上させます。

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TaCありとなし

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TaC使用後(右)

また、セミセラのTaCコーティング製品に比べて、より長い耐用年数とより優れた高温耐性を示します。SiCコーティング.実験室での測定により、当社のTaCコーティング摂氏 2300 度までの温度で長期間安定して動作できます。以下にサンプルの例をいくつか示します。

 
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