Semicera は、さまざまなコンポーネントやキャリア向けに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供しています。Semicera の最先端のコーティング プロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上します (グラファイトコーティングされたTaCサセプター）、主要な原子炉コンポーネントの寿命を延ばします。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させるためにあり、セミセラは炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。
8 インチの炭化ケイ素 (SiC) ウェーハの出現により、さまざまな半導体プロセス、特に温度が 2000 度を超えるエピタキシー プロセスの要件がますます厳しくなりました。炭化ケイ素でコーティングされたグラファイトなどの従来のサセプタ材料は、これらの高温で昇華する傾向があり、エピタキシープロセスが中断されます。しかし、CVD タンタルカーバイド (TaC) はこの問題に効果的に対処し、摂氏 2300 度までの温度に耐え、より長い耐用年数を提供します。セミセラにお問い合わせくださいs 炭化タンタル TaC CVD コーティング ウェーハ サセプタ当社の高度なソリューションについてさらに詳しく知るには、
TaCありとなし
TaC使用後（右）
また、セミセラのTaCコーティング製品に比べて、より長い耐用年数とより優れた高温耐性を示します。SiCコーティング.実験室での測定により、当社のTaCコーティング摂氏 2300 度までの温度で長期間安定して動作できます。以下にサンプルの例をいくつか示します。
