TaC コーティング プレートは、SiC エピタキシャル プロセスで使用するために設計された特殊なディスクで、高品質のグラファイト材料から精密に作られています。その表面は、その卓越した純度と強度で知られる化合物である炭化タンタル (TaC) で注意深くコーティングされています。 TaC コーティングはプレートの耐久性と高温に対する耐性を強化し、SiC エピタキシャル プロセスの厳しい条件に最適です。
この革新的な TaC コーティング プレートは、SiC エピタキシャル プロセスで使用するために設計された特殊なディスクで、高品質のグラファイト材料から精密に作られています。 TaC コーティングプレートの表面は、その卓越した純度と強度で知られる化合物である炭化タンタル (TaC) で細心の注意を払ってコーティングされています。 SiC エピタキシャル成長のさまざまな段階でウェーハを搬送するための信頼できるプラットフォームとして機能します。高純度グラファイトベースは安定した不活性な表面を提供し、TaC コーティングは化学反応や摩耗に対する保護層を追加します。
セミック時代TaC コーティング プレートは、顧客の特定の要件に従ってカスタマイズされ、最適なパフォーマンスと SiC エピタキシャル システムとの互換性を保証します。サイズ、形状、その他の仕様にかかわらず、これらのプレートはあらゆる用途の固有のニーズを満たすように調整されています。
TaCありとなし
TaC使用後（右）
また、セミセラのTaCコーティング製品に比べて、より長い耐用年数とより優れた高温耐性を示します。SiCコーティング.実験室での測定により、当社のTaCコーティング摂氏 2300 度までの温度で長期間安定して動作できます。以下にサンプルの例をいくつか示します。
