Semicera は、さまざまなコンポーネントやキャリア向けに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供しています。Semicera の最先端のコーティング プロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上します (グラファイトコーティングされたTaCサセプター）、主要な原子炉コンポーネントの寿命を延ばします。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させるためにあり、セミセラは炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。
炭化タンタルでコーティングされたウェーハキャリアは、半導体製造プロセスにおけるウェーハの処理およびハンドリングプロセスで広く使用されています。安定したサポートと保護を提供し、製造プロセス中のウェーハの安全性、精度、一貫性を確保します。炭化タンタルコーティングは、キャリアの耐用年数を延ばし、コストを削減し、半導体製品の品質と信頼性を向上させることができます。
炭化タンタルコーティングされたウェーハキャリアの説明は次のとおりです。
1. 材料の選択：炭化タンタルは、優れた性能、高硬度、高融点、耐食性、優れた機械的特性を備えた材料であるため、半導体製造プロセスで広く使用されています。
2. 表面コーティング: 炭化タンタルコーティングは、特殊なコーティングプロセスを通じてウェーハキャリアの表面に適用され、均一で緻密な炭化タンタルコーティングを形成します。このコーティングは、優れた熱伝導性を備えながら、さらなる保護と耐摩耗性を提供します。
3. 平坦度と精度: タンタルカーバイドでコーティングされたウェーハキャリアは高度な平坦度と精度を備えており、製造プロセス中のウェーハの安定性と精度を保証します。キャリア表面の平坦度と仕上げは、ウェーハの品質と性能を確保するために重要です。
4. 温度安定性: タンタルカーバイドでコーティングされたウェーハキャリアは、高温環境でも変形や緩みなく安定性を維持でき、高温プロセスにおけるウェーハの安定性と一貫性を確保します。
5. 耐食性: 炭化タンタルコーティングは優れた耐食性を備えており、化学薬品や溶剤の侵食に耐え、キャリアを液体やガスの腐食から保護します。
TaCありとなし
TaC使用後（右）
また、セミセラのTaCコーティング製品に比べて、より長い耐用年数とより優れた高温耐性を示します。SiCコーティング.実験室での測定により、当社のTaCコーティング摂氏 2300 度までの温度で長期間安定して動作できます。以下にサンプルの例をいくつか示します。
