炭化タンタルコーティンググラファイトプレート

簡単な説明:

Semicera の炭化タンタル コーティング グラファイト プレートは、炭化ケイ素のエピタキシーおよび結晶成長における高性能アプリケーション向けに設計されています。このプレートは、高温、腐食性、高圧環境において優れた安定性を発揮します。先進的な反応炉や炉構造での使用に最適で、システムのパフォーマンスと寿命が向上します。 Semicera は、厳しいエンジニアリング ニーズに応える最先端のコーティング技術により、優れた品質と信頼性を保証します。


製品詳細

製品タグ

炭化タンタルコーティングされたグラファイトシートの薄い層を持つグラファイト材料です。炭化タンタル基板の表面に。炭化タンタルの薄層は、通常、物理蒸着 (PVD) または化学蒸着 (CVD) などの技術によってグラファイト基板の表面に形成されます。このコーティングは、高硬度、優れた耐摩耗性、耐食性、高温安定性などの優れた特性を備えています。

 

Semicera は、さまざまなコンポーネントやキャリア向けに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供しています。Semicera の最先端のコーティング プロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上します (グラファイトコーティングされたTaCサセプター)、主要な原子炉コンポーネントの寿命を延ばします。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させるためにあり、セミセラは炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。

 

長年の開発を経て、セミセラは次の技術を克服しました。CVD TaC研究開発部門の協力により実現しました。 SiCウェーハは成長過程で欠陥が発生しやすいですが、使用後はTaC、その違いは顕著です。以下は、TaC を含むウェーハと含まないウェーハ、および単結晶成長用 Simicera の部品の比較です。

炭化タンタルでコーティングされたグラファイト シートの主な利点は次のとおりです。

1. 高温耐性:炭化タンタルは融点が高く、高温安定性に優れているため、コーティングされたグラファイトシートは高温環境での使用に適しています。

2. 耐食性: 炭化タンタルコーティングは、多くの化学腐食性物質の浸食に耐え、材料の耐用年数を延ばします。

3. 高硬度:タンタルカーバイド薄層の高硬度により優れた耐摩耗性が得られ、高い耐摩耗性が要求される用途に適しています。

4. 化学的安定性: 炭化タンタルコーティングは化学的腐食に対して優れた安定性を備えており、一部の腐食性媒体での使用に適しています。

 
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TaCありとなし

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TaC使用後(右)

また、セミセラのTaCコーティング製品に比べて、より長い耐用年数とより優れた高温耐性を示します。SiCコーティング.実験室での測定により、当社のTaCコーティング摂氏 2300 度までの温度で長期間安定して動作できます。以下にサンプルの例をいくつか示します。

 
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