炭化タンタルコーティングペデスタルサポートプレート

簡単な説明:

Semicera の炭化タンタルコーティングされたサセプタサポートプレートは、炭化ケイ素のエピタキシーおよび結晶成長で使用するために設計されています。これらの高度なプロセスに不可欠な、高温、腐食、高圧の環境下でも安定したサポートを提供します。高圧反応器、炉構造、化学装置で一般的に使用され、システムのパフォーマンスと安定性を保証します。セミセラの革新的なコーティング技術は、要求の厳しいエンジニアリング用途において優れた品質と信頼性を保証します。

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製品詳細

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炭化タンタルコーティングされたサセプタサポートプレートの薄い層で覆われたサセプタまたは支持構造です。炭化タンタル。このコーティングは、物理蒸着 (PVD) や化学蒸着 (CVD) などの技術によってサセプタ表面に形成でき、サセプタに優れた特性を与えます。炭化タンタル.

Semicera は、さまざまなコンポーネントやキャリア向けに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供しています。Semicera の最先端のコーティングプロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上します (グラファイトコーティングされたTaCサセプター）、主要な原子炉コンポーネントの寿命を延ばします。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させるためにあり、セミセラは炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。

長年の開発を経て、セミセラは次の技術を克服しました。CVD TaC研究開発部門の協力により実現しました。 SiCウェーハは成長過程で欠陥が発生しやすいですが、使用後はTaC、その違いは顕著です。以下は、TaC を含むウェーハと含まないウェーハ、および単結晶成長用 Simicera の部品の比較です。

炭化タンタルでコーティングされたベースサポートプレートの主な特徴は次のとおりです。

1. 高温安定性: 炭化タンタルは優れた高温安定性を備えており、コーティングされたベースサポートプレートは高温作業環境でのサポートニーズに適しています。

2.耐食性：炭化タンタルコーティングは優れた耐食性を備え、化学腐食や酸化に耐え、ベースの耐用年数を延ばします。

3. 高硬度と耐摩耗性: タンタルカーバイドコーティングの高硬度により、ベースサポートプレートに優れた耐摩耗性が与えられ、高い耐摩耗性が必要な場合に適しています。

4. 化学的安定性: 炭化タンタルはさまざまな化学物質に対して安定性が高く、コーティングされたベースサポートプレートは一部の腐食環境でも良好に機能します。