Semicera は、さまざまなコンポーネントやキャリア向けに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供しています。Semicera の最先端のコーティング プロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上します (グラファイトコーティングされたTaCサセプター）、主要な原子炉コンポーネントの寿命を延ばします。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させるためにあり、セミセラは炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。
グラファイトは優れた高温材料ですが、高温では酸化しやすくなります。不活性ガスを使用した真空炉内でも、ゆっくりと酸化する可能性があります。 CVD 炭化タンタル (TaC) コーティングを使用すると、グラファイト基板を効果的に保護し、グラファイトと同じ高温耐性を実現できます。 TaC は不活性材料でもあり、高温ではアルゴンや水素などのガスと反応しません。問い合わせ炭化タンタル CVD コーティング EPI サセプタ 今！
TaCありとなし
TaC使用後（右）
また、セミセラのTaCコーティング製品に比べて、より長い耐用年数とより優れた高温耐性を示します。SiCコーティング.実験室での測定により、当社のTaCコーティング摂氏 2300 度までの温度で長期間安定して動作できます。以下にサンプルの例をいくつか示します。
