炭化タンタル遊星ディスク

簡単な説明:

Semicera のタンタルカーバイド遊星ディスクは、半導体エピタキシー炉の重要なコンポーネントであり、その卓越した耐摩耗性、高硬度、熱安定性で知られています。このディスクは精密機器、航空宇宙、半導体製造で広く使用されており、優れた性能と耐久性を保証します。セミセラ半導体は、高精度機械伝達システムにおいて最高の品質と信頼性を保証します。

 


製品詳細

製品タグ

Semicera は、さまざまなコンポーネントやキャリア向けに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供しています。Semicera の最先端のコーティング プロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上します (グラファイトコーティングされたTaCサセプター)、主要な原子炉コンポーネントの寿命を延ばします。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させるためにあり、セミセラは炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。

 

炭化タンタル遊星ディスクの動作原理は遊星歯車伝動の原理に似ており、遊星ディスクが中間駆動要素として機能し、内歯車と外歯車との噛み合いによって動力伝達と運動制御を実現します。遊星ディスクには通常、内歯車と外歯車とかみ合う複数の歯溝があり、スムーズな伝達と高トルク出力を実現します。

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TaCありとなし

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TaC使用後(右)

炭化タンタル遊星ディスクの特徴は次のとおりです。

1.耐摩耗性:タンタルカーバイド材料は非常に高い硬度と耐摩耗性を備えており、高負荷および高速移動条件下でも良好な耐久性を維持し、摩耗と摩擦損失を低減します。

2. 高温安定性: タンタルカーバイドは優れた高温安定性を備えており、高温環境下でも損傷することなく長時間動作でき、高温プロセスや用途に適しています。

3. 低摩擦係数:炭化タンタルの表面は摩擦係数が低いため、伝動時のエネルギーロスや発熱が少なく伝動効率が向上します。

4.高精度と安定性:タンタルカーバイド遊星ディスクは、優れた職人技、高精度と安定性で製造されており、正確な伝達と位置制御を実現できます。

また、セミセラのTaCコーティング製品に比べて、より長い耐用年数とより優れた高温耐性を示します。SiCコーティング.実験室での測定により、当社のTaCコーティング摂氏 2300 度までの温度で長期間安定して動作できます。以下にサンプルの例をいくつか示します。

 
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