SiC コーティングされたエピタキシャル リアクター バレル

簡単な説明:

Semicera は、さまざまなエピタキシー リアクター向けに設計された包括的なサセプターとグラファイト コンポーネントを提供しています。

業界をリードする OEM との戦略的パートナーシップ、広範な材料専門知識、高度な製造能力を通じて、セミセラはお客様のアプリケーションの特定の要件を満たすカスタマイズされた設計を提供します。当社の卓越性への取り組みにより、お客様はエピタキシーリアクターのニーズに最適なソリューションを確実にお届けします。

 

製品の詳細

製品タグ

説明

当社が提供するのは、SiCコーティンググラファイト、セラミックス、その他の材料の表面を CVD 法で処理し、炭素とシリコンを含む特殊なガスを高温で反応させて高純度の Sic 分子を生成し、コーティングされた材料の表面に堆積して表面を形成します。SiC保護層エピタキシーバレル型催眠術用。

 

シック (1)

シック (2)

主な特徴

1. 高温酸化耐性:
1600℃もの高温でも耐酸化性は非常に良好です。
2. 高純度 : 高温塩素化条件下での化学蒸着によって製造されます。
3.耐浸食性:高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
4. 耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。

CVD-SICコーティングの主な仕様

SiC-CVDの特性
結晶構造 FCC βフェーズ
密度 g/cm3 3.21
硬度 ビッカース硬さ 2500
粒度 μm 2~10
化学純度 % 99.99995
熱容量 J・kg-1・K-1 640
昇華温度 2700
感覚の強さ MPa(室温4点) 415
ヤング率 Gpa (4pt曲げ、1300℃) 430
熱膨張 (CTE) 10-6K-1 4.5
熱伝導率 (W/mK) 300
セミセラ作業所
セミセラ作業場2
設備機械
CNN加工、薬液洗浄、CVDコーティング
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