セミセラの青色/緑色 LED エピタキシーは、高性能 LED 製造のための最先端のソリューションを提供します。高度なエピタキシャル成長プロセスをサポートするように設計されたセミセラの青色/緑色 LED エピタキシー技術は、さまざまなオプトエレクトロニクス用途に重要な青色および緑色 LED の製造効率と精度を向上させます。最先端の Si エピタキシーと SiC エピタキシーを利用したこのソリューションは、優れた品質と耐久性を保証します。
製造プロセスにおいて、MOCVD サセプタは、エピタキシャル成長環境を最適化する PSS エッチング キャリア、ICP エッチング キャリア、RTP キャリアなどのコンポーネントとともに重要な役割を果たします。 Semicera の青色/緑色 LED エピタキシーは、LED エピタキシャル サセプター、バレル サセプター、単結晶シリコンを安定してサポートするように設計されており、一貫した高品質の結果の生産を保証します。
このエピタキシープロセスは太陽電池部品の作成に不可欠であり、SiC エピタキシー上の GaN などのアプリケーションをサポートし、全体的な半導体効率を向上させます。パンケーキ サセプタ構成でも、他の高度なセットアップで使用しても、セミセラの青色/緑色 LED エピタキシー ソリューションは信頼性の高いパフォーマンスを提供し、メーカーが高品質 LED コンポーネントに対する需要の高まりに応えるのに役立ちます。
主な特徴:
1. 高温酸化耐性:
1600℃もの高温でも耐酸化性は非常に良好です。
2. 高純度 : 高温塩素化条件下での化学蒸着によって製造されます。
3.耐浸食性：高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
4. 耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。
主な仕様CVD-SICコーティング
| SiC-CVDの特性 | ||
| 結晶構造 | FCC βフェーズ | |
| 密度 | g/cm3 | 3.21 |
| 硬度 | ビッカース硬さ | 2500 |
| 粒度 | μm | 2~10 |
| 化学純度 | % | 99.99995 |
| 熱容量 | J・kg-1・K-1 | 640 |
| 昇華温度 | ℃ | 2700 |
| 感覚の強さ | MPa(室温4点) | 415 |
| ヤング率 | Gpa (4pt曲げ、1300℃) | 430 |
| 熱膨張 (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| 熱伝導率 | (W/mK) | 300 |
