第 3 世代の半導体材料には、バンドギャップ幅 (Eg) が 2.3 電子ボルト (eV) 以上であるため、SiC、GaN、ダイヤモンドなどが主に含まれており、ワイドバンドギャップ半導体材料とも呼ばれます。第 1 世代および第 2 世代の半導体材料と比較して、第 3 世代の半導体材料は、高い熱伝導率、高い絶縁破壊電界、高い飽和電子移動速度、高い結合エネルギーという利点を備えており、現代の電子技術の新しい要件を満たすことができます。温度、高出力、高圧、高周波、耐放射線性、その他の過酷な条件。国防、航空、航空宇宙、石油探査、光ストレージなどの分野で重要な応用の見通しがあり、ブロードバンド通信、太陽エネルギー、自動車製造、半導体照明やスマートグリッドの導入により、機器の体積を 75% 以上削減でき、これは人類の科学技術の発展にとって画期的な意味を持ちます。
| アイテム项目 | GaN-FS-CU-C50 | GaN-FS-CN-C50 | GaN-FS-C-SI-C50 |
| 直径 | 50.8±1mm | ||
| 厚さ厚さ | 350±25μm | ||
| オリエンテーション | C面(0001) M軸方向のオフ角 0.35 ± 0.15° | ||
| プライムフラット | (1-100) 0±0.5°、16±1mm | ||
| セカンダリフラット | (11-20) 0±3°、8±1mm | ||
| 導電率 | N型 | N型 | 半絶縁 |
| 抵抗率(300K) | < 0.1Ω・cm | < 0.05Ω・cm | > 106Ω・cm |
| TTV | 15μm以下 | ||
| 弓 | ≤ 20μm | ||
| Ga面の表面粗さ | < 0.2 nm (研磨済み); | ||
| または < 0.3 nm (エピタキシーのための研磨および表面処理) | |||
| N面の表面粗さ | 0.5～1.5μm | ||
| オプション: 1~3 nm (細挽き);< 0.2 nm (研磨済み) | |||
| 転位密度 | 1 x 105 ～ 3 x 106 cm-2 (CL による計算)* | ||
| マクロ欠陥密度 | < 2 cm-2 | ||
| 使用可能エリア | > 90% (エッジおよびマクロ欠陥を除く) | ||
| 顧客の要件に応じて、シリコン、サファイア、SiC ベースの GaN エピタキシャル シートのさまざまな構造をカスタマイズできます。 | |||
