LMJマイクロジェットレーザー技術設備

簡単な説明:

当社のマイクロジェットレーザー切断技術は、6インチの炭化ケイ素インゴットの切断、スライス、スライスを完了することに成功し、8インチの結晶の切断、スライスにも対応し、高効率の単結晶シリコン基板の加工を実現します。 、高品質、低コスト、低損傷、高収量。


製品の詳細

製品タグ

レーザーマイクロジェット (LMJ)

集束されたレーザービームは高速ウォータージェットに結合され、水柱の内壁で全反射した後、断面エネルギーが均一に分布したエネルギービームが形成されます。狭い線幅、高いエネルギー密度、制御可能な方向、加工された材料の表面温度をリアルタイムで低下させるという特徴があり、硬くて脆い材料を統合的かつ効率的に仕上げるための優れた条件を提供します。

レーザーマイクロウォータージェット加工技術は、水と空気の界面におけるレーザーの全反射現象を利用し、安定したウォータージェット内でレーザーを結合させ、ウォータージェット内の高いエネルギー密度を利用して加工を実現します。材料の除去。

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レーザーマイクロジェットの利点

マイクロジェット レーザー (LMJ) テクノロジーは、水と空気の光学特性の伝播の違いを利用して、従来のレーザー加工に固有の欠陥を克服します。この技術では、レーザーパルスは、光ファイバー内と同様に、処理された高純度ウォータージェット内で妨げられることなく完全に反射されます。

使用の観点から見ると、LMJ マイクロジェット レーザー技術の主な特徴は次のとおりです。

図1において、レーザービームは円筒形(平行)レーザービームである。

2、ウォータージェット内のレーザーパルスはファイバー伝導のように、プロセス全体が環境要因から保護されます。

3、レーザービームはLMJ装置内で集束され、加工プロセス全体を通じて加工面の高さは変化しないため、加工深さの変化に伴う加工プロセス中に継続的に集光する必要はありません。 ;

4、各レーザーパルス処理の瞬間における処理材料のアブレーションに加えて、各パルスの開始から次のパルス処理までの単一時間範囲内の時間の約99%で、処理材料は実際の状態にあります。 - 熱影響部と再溶融層をほぼ除去しながら、高い処理効率を維持するための水の時間冷却。

5、表面の掃除を続けます。

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デバイスのスクライビング

従来のレーザー切断では、エネルギーの蓄積と伝導が切断経路の両側での熱損傷の主な原因ですが、マイクロジェット レーザーは水柱の役割により、各パルスの残留熱を素早く奪います。ワーク上に堆積することがないので、切断パスがきれいです。従来の「隠しカット」+「分割」工法のため、加工技術を削減。

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