炭化ケイ素コーティングを施したグラファイトサセプター、ウェーハキャリア

簡単な説明：

Semicera は、さまざまなエピタキシーリアクター向けに設計された包括的なサセプターとグラファイトコンポーネントを提供しています。

業界をリードする OEM との戦略的パートナーシップ、広範な材料専門知識、高度な製造能力を通じて、セミセラはお客様のアプリケーションの特定の要件を満たすカスタマイズされた設計を提供します。当社の卓越性への取り組みにより、お客様はエピタキシーリアクターのニーズに最適なソリューションを確実にお届けします。

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製品の詳細

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説明

CVD-SiC コーティングは、均一な構造、緻密な材料、高温耐性、耐酸化性、高純度、酸およびアルカリ耐性、有機試薬の特性を備え、安定した物理的および化学的特性を備えています。
高純度黒鉛材料と比較して、黒鉛は400℃で酸化が始まり、酸化による粉末の損失が発生し、周辺機器や真空チャンバーへの環境汚染を引き起こし、高純度環境の不純物が増加します。
しかし、SiC コーティングは 1600 度でも物理的および化学的安定性を維持できるため、現代の産業、特に半導体産業で広く使用されています。

FDVCDV

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当社は、グラファイトやセラミックスなどの材料表面に、炭素とシリコンを含む特殊ガスを高温で反応させ、高純度のSiC分子を得ることで、コーティング材料の表面に分子を堆積させ、CVD法によるSiCコーティング処理サービスを提供しています。 SIC保護層を形成します。形成された SIC はグラファイトベースにしっかりと結合し、グラファイトベースに特別な特性を与え、グラファイトの表面を緻密にし、気孔がなく、高温耐性、耐食性、耐酸化性を高めます。