炭化ケイ素コーティングを施したグラファイトサセプター、8 インチウェハーキャリア

簡単な説明:

Semicera Energy は、さまざまなエピタキシー リアクター向けに設計された包括的なサセプターとグラファイト コンポーネントを提供しています。

Weitai は、業界をリードする OEM との戦略的パートナーシップ、広範な材料専門知識、高度な製造能力を通じて、お客様のアプリケーションの特定の要件を満たすカスタマイズされた設計を提供します。当社の卓越性への取り組みにより、お客様はエピタキシーリアクターのニーズに最適なソリューションを確実にお届けします。


製品詳細

製品タグ

説明

CVD-SiCコーティング均一な構造、コンパクトな材料、高温耐性、耐酸化性、高純度、酸およびアルカリ耐性、有機試薬の特性を備え、安定した物理的および化学的特性を備えています。
 
高純度黒鉛材料と比較して、黒鉛は400℃で酸化が始まり、酸化による粉末の損失が発生し、周辺機器や真空チャンバーへの環境汚染を引き起こし、高純度環境の不純物が増加します。
しかし、SiCコーティング1600度でも物理的および化学的安定性を維持でき、現代産業、特に半導体産業で広く使用されています。

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主な特長

1.高純度SiCコーティンググラファイト

2. 優れた耐熱性と均熱性

3. 罰金SiC結晶コーティング滑らかな表面のために

4. 薬品洗浄に対する高い耐久性

 

CVD-SICコーティングの主な仕様:

SiC-CVD
密度 (g/cc) 3.21
曲げ強度 (MPa) 470
熱膨張 (10-6/K) 4
熱伝導率 (W/mK) 300

梱包と発送

供給能力:
10000 個/月/個
梱包と配送:
パッキング:標準および強力なパッキング
ポリ袋 + ボックス + カートン + パレット
ポート:
寧波/深セン/上海
リードタイム:

数量(個) 1~1000 >1000
EST(東部基準時。時間(日) 30 交渉中
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設備機械
CNN加工、薬液洗浄、CVDコーティング
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