炭化ケイ素コーティングを施したグラファイトサセプタ 8 インチウェハキャリア

簡単な説明:

Semicera の 8 インチ ウェーハ キャリア用炭化ケイ素コーティング付きグラファイト サセプタは、高性能半導体処理用に設計されており、優れた熱伝導性、耐薬品性、耐久性を備えています。炭化ケイ素コーティングは酸化や摩耗に対する優れた保護を保証し、サセプタの寿命を延ばします。 MOCVD、CVD、その他の高温アプリケーションに最適なセミセラのサセプタは信頼性の高い性能を提供し、半導体や LED の製造における効率的なウェーハの取り扱いと処理に最適なソリューションです。


製品詳細

製品タグ

説明

CVD-SiCコーティング均一な構造、コンパクトな材料、高温耐性、耐酸化性、高純度、酸およびアルカリ耐性、有機試薬の特性を備え、安定した物理的および化学的特性を備えています。
 
高純度黒鉛材料と比較して、黒鉛は400℃で酸化が始まり、酸化による粉末の損失が発生し、周辺機器や真空チャンバーへの環境汚染を引き起こし、高純度環境の不純物が増加します。
しかし、SiCコーティング1600度でも物理的および化学的安定性を維持でき、現代産業、特に半導体産業で広く使用されています。

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主な特長

1.高純度SiCコーティンググラファイト

2. 優れた耐熱性と均熱性

3. 罰金SiC結晶コーティング滑らかな表面のために

4. 薬品洗浄に対する高い耐久性

 

CVD-SICコーティングの主な仕様:

SiC-CVD
密度 (g/cc) 3.21
曲げ強度 (MPa) 470
熱膨張 (10-6/K) 4
熱伝導率 (W/mK) 300

梱包と発送

供給能力:
10000 個/月/個
梱包と配送:
パッキング:標準および強力なパッキング
ポリ袋 + ボックス + カートン + パレット
ポート:
寧波/深セン/上海
リードタイム:

数量(個) 1~1000 >1000
EST(東部基準時。時間(日) 30 交渉中
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セミセラ作業場2
設備機械
CNN加工、薬液洗浄、CVDコーティング
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