CVD-SICコーティングの主な仕様
| SiC-CVDの特性 | ||
| 結晶構造 | FCC βフェーズ | |
| 密度 | g/cm3 | 3.21 |
| 硬度 | ビッカース硬さ | 2500 |
| 粒度 | μm | 2~10 |
| 化学純度 | % | 99.99995 |
| 熱容量 | J・kg-1・K-1 | 640 |
| 昇華温度 | ℃ | 2700 |
| 感覚の強さ | MPa(室温4点) | 415 |
| ヤング率 | Gpa (4pt曲げ、1300℃) | 430 |
| 熱膨張 (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| 熱伝導率 | (W/mK) | 300 |





