SiC コーティング誘導加熱バレル エピ システム

簡単な説明:

Semicera は、さまざまなエピタキシー リアクター向けに設計されたサセプターとグラファイト コンポーネントを包括的に提供しています。

セミセラは、業界をリードする OEM との戦略的パートナーシップ、広範な材料専門知識、高度な製造能力を通じて、お客様のアプリケーションの特定の要件を満たすカスタマイズされた設計を提供します。当社の卓越性への取り組みにより、お客様はエピタキシーリアクターのニーズに最適なソリューションを確実にお届けします。

 

 

 


製品詳細

製品タグ

当社が提供するのは、SiCコーティンググラファイト、セラミックス、その他の材料の表面を CVD 法で処理し、炭素とシリコンを含む特殊なガスを高温で反応させて高純度の Sic 分子を生成し、コーティングされた材料の表面に堆積して表面を形成します。SiC保護層エピタキシーバレル型催眠術用。

 

主な特徴:

1.高純度SiCコーティンググラファイト

2. 優れた耐熱性と均熱性

3. 罰金SiC結晶コーティング滑らかな表面のために

4. 薬品洗浄に対する高い耐久性

 
半導体のSiCコーティングを施したバレルサセプタ

主な仕様CVD-SICコーティング

SiC-CVDの特性

結晶構造 FCC βフェーズ
密度 g/cm3 3.21
硬度 ビッカース硬さ 2500
粒度 μm 2~10
化学純度 % 99.99995
熱容量 J・kg-1・K-1 640
昇華温度 2700
感覚の強さ MPa(室温4点) 415
ヤング率 Gpa (4pt曲げ、1300℃) 430
熱膨張 (CTE) 10-6K-1 4.5
熱伝導率 (W/mK) 300

 

 
2--CVD-SIC-純度---99-99995-_60366
5----sic-crystal_242127
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CNN加工、薬液洗浄、CVDコーティング
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